Аннотация
Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)
Переведенное название | Finishing Surface Treatment of Potassium Titanyl Phosphate Single Crystals by Argon Cluster Ions |
---|---|
Язык оригинала | русский |
Страницы (с-по) | 30-32 |
Число страниц | 3 |
Журнал | Письма в Журнал технической физики |
Том | 45 |
Номер выпуска | 6 |
DOI | |
Состояние | Опубликовано - 2019 |
Предметные области OECD FOS+WOS
- 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ
ГРНТИ
- 29 ФИЗИКА