Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатья

Аннотация

Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)
Переведенное названиеFinishing Surface Treatment of Potassium Titanyl Phosphate Single Crystals by Argon Cluster Ions
Язык оригиналарусский
Страницы (с-по)30-32
Число страниц3
ЖурналПисьма в Журнал технической физики
Том45
Номер выпуска6
DOI
СостояниеОпубликовано - 2019

ГРНТИ

  • 29 ФИЗИКА

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать