TY - JOUR
T1 - Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона
AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич
AU - Николаев, Иван Владимирович
AU - Роенко, Максим Анатольевич
N1 - Коробейщиков Н.Г., Николаев И.В., Роенко М.А. Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона // Письма в Журнал технической физики. - 219. - Т. 45. - № 6. - С. 30-32
PY - 2019
Y1 - 2019
N2 - Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)
AB - Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)
UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=37481366
U2 - 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646
DO - 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646
M3 - статья
VL - 45
SP - 30
EP - 32
JO - Письма в Журнал технической физики
JF - Письма в Журнал технической физики
SN - 0320-0116
IS - 6
ER -