Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей

Николай Геннадьевич Коробейщиков (автор), Александр Евгеньевич Зарвин (автор), Валерий Владимирович Каляда (автор), Алексей Александрович Шмаков (автор)

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрациисвидетельство о регистрации ноу-хау

Язык оригиналарусский
Номер патента10
Дата приоритета12.11.2012
СостояниеОпубликовано - 26 дек 2012

Цитировать