Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей

Николай Геннадьевич Коробейщиков; Александр Евгеньевич Зарвин; Валерий Владимирович Каляда; Алексей Александрович Шмаков

Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей

Николай Геннадьевич Коробейщиков (автор), Александр Евгеньевич Зарвин (автор), Валерий Владимирович Каляда (автор), Алексей Александрович Шмаков (автор)

Отдел прикладной физики ФФ

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

Язык оригинала	русский
Номер патента	10
Дата приоритета	12.11.2012
Состояние	Опубликовано - 26 дек. 2012

Цитировать

Коробейщиков, Н. Г., Зарвин, А. Е., Каляда, В. В., & Шмаков, А. А. (2012). Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей. (Патент/Св-во№ 10). Новосибирский государственный университет.

Коробейщиков, Николай Геннадьевич (автор) ; Зарвин, Александр Евгеньевич (автор) ; Каляда, Валерий Владимирович (автор) и др. / Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей. Новосибирский государственный университет. Патент/Св-во №: 10. дек. 26, 2012.

@misc{bbd6c9d1906740fc875617493b677a2f,

title = "Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей",

author = "Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Зарвин, {Александр Евгеньевич} and Каляда, {Валерий Владимирович} and Шмаков, {Алексей Александрович}",

year = "2012",

month = dec,

day = "26",

language = "русский",

publisher = "Новосибирский государственный университет",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "10",

}

Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей. / Коробейщиков, Николай Геннадьевич (автор); Зарвин, Александр Евгеньевич (автор); Каляда, Валерий Владимирович (автор) и др.

Новосибирский государственный университет. Патент/Св-во №: 10. дек. 26, 2012.

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

TY - PAT

T1 - Устройство формирования ионно-кластерного пучка аргона для полировки микро- и наноразмерных деталей

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Зарвин, Александр Евгеньевич

AU - Каляда, Валерий Владимирович

AU - Шмаков, Алексей Александрович

PY - 2012/12/26

Y1 - 2012/12/26

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 10

PB - Новосибирский государственный университет

ER -