Язык оригинала | русский |
---|---|
Номер патента | 6 |
Дата приоритета | 22.11.2011 |
Состояние | Опубликовано - 25 ноя 2011 |
Технология получения высокоупорядоченной ступенчатой поверхности Si (111) -7x7
Константин Николаевич Романюк (автор), Александр Андреевич Шкляев (автор)
Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау