Технология получения высокоупорядоченной ступенчатой поверхности Si (111) -7x7

Константин Николаевич Романюк (автор), Александр Андреевич Шкляев (автор)

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрациисвидетельство о регистрации ноу-хау

Язык оригиналарусский
Номер патента6
Дата приоритета22.11.2011
СостояниеОпубликовано - 25 ноя 2011

Цитировать