Способ создания антиотражающих покрытий из частиц германия в виде упорядоченных субмикронных дисков на поверхности КНИ подложек

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

Цитировать

@misc{ec0f8f91cdb64fd1ad8df3642c0150b4,

title = "Способ создания антиотражающих покрытий из частиц германия в виде упорядоченных субмикронных дисков на поверхности КНИ подложек",

author = "Dmitry Utkin and Шкляев, {Александр Андреевич}",

year = "2022",

month = dec,

day = "22",

language = "русский",

type = "Patent",

note = "79",

}

Патент/Св-во №: 79. дек. 22, 2022.

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

TY - PAT

T1 - Способ создания антиотражающих покрытий из частиц германия в виде упорядоченных субмикронных дисков на поверхности КНИ подложек

AU - Utkin, Dmitry

AU - Шкляев, Александр Андреевич

PY - 2022/12/22

Y1 - 2022/12/22

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 79

ER -