Способ создания антиотражающих покрытий из частиц германия в виде упорядоченных субмикронных дисков на поверхности КНИ подложек

Дмитрий Евгеньевич Уткин (автор), Александр Андреевич Шкляев (автор)

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

Цитировать

@misc{66aa232eb29b40c083ac6287aaf590ed,

title = "Способ создания антиотражающих покрытий из частиц германия в виде упорядоченных субмикронных дисков на поверхности КНИ подложек",

author = "Уткин, {Дмитрий Евгеньевич} and Шкляев, {Александр Андреевич}",

year = "2022",

month = dec,

day = "22",

language = "русский",

publisher = "Новосибирский государственный университет",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "79",

}

Новосибирский государственный университет. Патент/Св-во №: 79. дек. 22, 2022.

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

TY - PAT

T1 - Способ создания антиотражающих покрытий из частиц германия в виде упорядоченных субмикронных дисков на поверхности КНИ подложек

AU - Уткин, Дмитрий Евгеньевич

AU - Шкляев, Александр Андреевич

PY - 2022/12/22

Y1 - 2022/12/22

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 79

PB - Новосибирский государственный университет

ER -