Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия

Борис Семенович Ездин; Александр Евгеньевич Зарвин; Валерий Владимирович Каляда

Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия

Борис Семенович Ездин (автор), Александр Евгеньевич Зарвин (автор), Валерий Владимирович Каляда (автор)

Отдел прикладной физики ФФ

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

6 Загрузки (Pure)

Аннотация

Предложен способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. В качестве реагентов используется смесь моносилана с аргоном. Образовавшиеся продукты поступают через выпускной клапан в систему сбора продуктов, в реакторный объем подаётся следующая порция исходных реагентов, заканчивая тем самым цикл переработки. При многократном повторении цикла формируется непрерывный процесс переработки моносилана в наноразмерный кристаллический кремний.

Язык оригинала	русский
Номер патента	29
Дата приоритета	30.10.2018
Состояние	Опубликовано - 14 нояб. 2018

Ключевые слова

НАНОРАЗМЕРНЫЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
УСТАНОВКА ЦИКЛИЧЕСКОГО СЖАТИЯ

Предметные области OECD FOS+WOS

2.1.NS НАНОНАУКА И НАНОТЕХНОЛОГИИ

ГРНТИ

61.31.47 Кремний и его соединения

Доступ к документу

ОПФФФ_НОУ-ХАУ № 29_Спос получ наноразм кристал-го кремния с исп установки быстр цикл сжатияКонечная издательская версия, 551 KB

Цитировать

Ездин, Б. С., Зарвин, А. Е., & Каляда, В. В. (2018). Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. (Патент/Св-во№ 29). Новосибирский государственный университет.

Ездин, Борис Семенович (автор) ; Зарвин, Александр Евгеньевич (автор) ; Каляда, Валерий Владимирович (автор). / Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. Новосибирский государственный университет. Патент/Св-во №: 29. нояб. 14, 2018.

@misc{a424e7473fb04c1bad2fbc3ab1b90780,

title = "Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия",

abstract = "Предложен способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. В качестве реагентов используется смесь моносилана с аргоном. Образовавшиеся продукты поступают через выпускной клапан в систему сбора продуктов, в реакторный объем подаётся следующая порция исходных реагентов, заканчивая тем самым цикл переработки. При многократном повторении цикла формируется непрерывный процесс переработки моносилана в наноразмерный кристаллический кремний.",

keywords = "НАНОРАЗМЕРНЫЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ, УСТАНОВКА ЦИКЛИЧЕСКОГО СЖАТИЯ",

author = "Ездин, {Борис Семенович} and Зарвин, {Александр Евгеньевич} and Каляда, {Валерий Владимирович}",

year = "2018",

month = nov,

day = "14",

language = "русский",

publisher = "Новосибирский государственный университет",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "29",

}

Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. / Ездин, Борис Семенович (автор); Зарвин, Александр Евгеньевич (автор); Каляда, Валерий Владимирович (автор).

Новосибирский государственный университет. Патент/Св-во №: 29. нояб. 14, 2018.

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

TY - PAT

T1 - Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия

AU - Ездин, Борис Семенович

AU - Зарвин, Александр Евгеньевич

AU - Каляда, Валерий Владимирович

PY - 2018/11/14

Y1 - 2018/11/14

N2 - Предложен способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. В качестве реагентов используется смесь моносилана с аргоном. Образовавшиеся продукты поступают через выпускной клапан в систему сбора продуктов, в реакторный объем подаётся следующая порция исходных реагентов, заканчивая тем самым цикл переработки. При многократном повторении цикла формируется непрерывный процесс переработки моносилана в наноразмерный кристаллический кремний.

AB - Предложен способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. В качестве реагентов используется смесь моносилана с аргоном. Образовавшиеся продукты поступают через выпускной клапан в систему сбора продуктов, в реакторный объем подаётся следующая порция исходных реагентов, заканчивая тем самым цикл переработки. При многократном повторении цикла формируется непрерывный процесс переработки моносилана в наноразмерный кристаллический кремний.

KW - НАНОРАЗМЕРНЫЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ

KW - УСТАНОВКА ЦИКЛИЧЕСКОГО СЖАТИЯ

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 29

PB - Новосибирский государственный университет

ER -