Способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрациисвидетельство о регистрации ноу-хау

1 Загрузки (Pure)

Аннотация

Предложен способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. В качестве реагентов используется смесь моносилана с аргоном. Образовавшиеся продукты поступают через выпускной клапан в систему сбора продуктов, в реакторный объем подаётся следующая порция исходных реагентов, заканчивая тем самым цикл переработки. При многократном повторении цикла формируется непрерывный процесс переработки моносилана в наноразмерный кристаллический кремний.
Язык оригиналарусский
Номер патента29
Дата приоритета30.10.2018
Дата подачи заявки14.11.2018
СостояниеОпубликовано - 14 ноя 2018

Ключевые слова

  • НАНОРАЗМЕРНЫЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
  • УСТАНОВКА ЦИКЛИЧЕСКОГО СЖАТИЯ

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.1.NS НАНОНАУКА И НАНОТЕХНОЛОГИИ

ГРНТИ

  • 61.31.47 Кремний и его соединения

Цитировать