Способ определения размеров газовых кластеров в сверхзвуковом газовом потоке

Использование: для обработки материалов и осаждения покрытий. Сущность изобретения заключается в том, что способ определения размеров газовых кластеров в сверхзвуковом газовом потоке включает истечение газа из звукового или сверхзвукового сопла, формирование кластерного пучка с помощью конусной диафрагмы (скиммера), в котором согласно изобретению измеряют поперечный профиль интенсивности пучка на фиксированном расстоянии за скиммером и по уширению мономерной и кластерной компонент пучка рассчитывают средний размер кластеров N по соотношению:
где Δmono - уширение мономерной компоненты пучка, Δclust - уширение кластерной компоненты пучка. Технический результат: обеспечение возможности определения размеров кластеров в потоках любых чистых газов и газовых смесях.