СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ НАБЕГА ФАЗЫ МОНОХРОМАТИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТНОЙ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ВОЛНЫ ИНФРАКРАСНОГО ДИАПАЗОНА

Анатолий Павлович Кирьянов (автор), Борис Александрович Князев (автор), Алексей Константинович Никитин (автор), Олег Владимирович Хитров (автор)

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрациипатент на изобретение

Аннотация

Изобретение относится к оптическим методам контроля проводящей поверхности в инфракрасном (ИК) излучении и может быть использовано в физико-химических исследованиях динамики роста переходного слоя поверхности, в технологических процессах для контроля толщины и однородности тонкослойных покрытий металлизированных изделий и полупроводниковых подложек, а также в сенсорных устройствах. Способ определения набега фазы монохроматической поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ) инфракрасного диапазона включает генерацию поверхностной электромагнитной волны во всем спектральном диапазоне широкополосного источника излучения, регистрацию интерферограмм, формируемых в результате взаимодействия излучения опорного пучка и измерительного пучка, порожденного ПЭВ, при этом ПЭВ пробегает различные расстояния участка ее трека, соответствующие крайним точкам контролируемого участка. Излучение источника содержит гармоническую составляющую с волновым числом σ, равным волновому числу контролируемой ПЭВ, а расчет производят с учетом зависимости Δφ(σ), получаемой в результате применения к интерферограммам полного Фурье-преобразования. Технический результат заключается в обеспечении возможности сокращения времени измерений и обеспечения возможности однозначности определения набега фазы Δφ монохроматической ПЭВ.
Язык оригиналарусский
Номер патента2491522
IPCG01J9/02
Дата приоритета27.02.2012
СостояниеОпубликовано - 27 авг 2013

Цитировать