Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрациисвидетельство о регистрации ноу-хау

11 Загрузки (Pure)
Язык оригиналарусский
Номер патента52
Дата приоритета28.12.2021
СостояниеОпубликовано - 29 дек. 2021

Ключевые слова

  • ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
  • ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ
  • НИТРИД АЛЮМИНИЯ
  • МАГНЕТРОН

ГРНТИ

  • 29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмер-ные структуры. Мезоскопические структуры

Цитировать