Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

11 Загрузки (Pure)

Ключевые слова

29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмер-ные структуры. Мезоскопические структуры

@misc{3af66b4b6df9467daabf25d81f9f74db,

title = "Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении",

keywords = "ФИЗИКА ПЛАЗМЫ, ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ, НИТРИД АЛЮМИНИЯ, МАГНЕТРОН",

author = "Гейдт, {Павел Викторович} and Чепкасов, {Сергей Юрьевич}",

year = "2021",

month = dec,

day = "29",

language = "русский",

publisher = "Новосибирский государственный университет",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "52",

}

Новосибирский государственный университет. Патент/Св-во №: 52. дек. 29, 2021.

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрации › свидетельство о регистрации ноу-хау

TY - PAT

T1 - Способ и устройство управления концентрацией азота в пленках AlN получаемых при магнетронном распылении

AU - Гейдт, Павел Викторович

AU - Чепкасов, Сергей Юрьевич

PY - 2021/12/29

Y1 - 2021/12/29

KW - ФИЗИКА ПЛАЗМЫ

KW - ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ

KW - НИТРИД АЛЮМИНИЯ

KW - МАГНЕТРОН

UR - https://www.rosrid.ru/rid/detail/C4HS3I7HRKS7731VAKARYW26

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 52

PB - Новосибирский государственный университет

ER -