Smoothing of Polycrystalline AlN Thin Films with Argon Cluster Ions

Переведенное название: Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Аннотация

Исследована модификация поверхности тонких поликристаллических пленок нитрида алюминия с помощью бомбардировки ионно-кластерным пучком. Обработка проводилась высоко- (105 eV/atom) и низкоэнергетическими (10 eV/atom) кластерными ионами аргона. С помощью метода атомно-силовой микроскопии с применением спектральной функции шероховатости продемонстрировано высокоэффективное сглаживание наноструктурированной поверхности в широком диапазоне пространственных частот (ν=0.02-128 μm-1) при ультрамалой глубине травления (<100 nm). Ключевые слова: ионно-кластерный пучок, тонкие пленки, нитрид алюминия, сглаживание поверхности.
Переведенное названиеСглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона
Язык оригиналаанглийский
Номер статьи12
Страницы (с-по)301-304
Число страниц4
ЖурналTechnical Physics Letters
Том47
Номер выпуска4
DOI
СостояниеОпубликовано - апр 2021

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ГРНТИ

  • 29 ФИЗИКА

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать