Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

Иван Владимирович Николаев, Николай Геннадьевич Коробейщиков, Максим Анатольевич Роенко, Павел Викторович Гейдт, Владимир Иванович Струнин

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Аннотация

Исследована модификация поверхности тонких поликристаллических пленок нитрида алюминия с помощью бомбардировки ионно-кластерным пучком. Обработка проводилась высоко- (105 eV/atom) и низкоэнергетическими (10 eV/atom) кластерными ионами аргона. С помощью метода атомно-силовой микроскопии с применением спектральной функции шероховатости продемонстрировано высокоэффективное сглаживание наноструктурированной поверхности в широком диапазоне пространственных частот (ν = 0.02 − 128 µm^−1) при ультрамалой глубине травления (< 100 nm).
Язык оригиналарусский
Страницы (с-по)44-47
Число страниц4
ЖурналПисьма в Журнал технической физики
Том47
Номер выпуска6
DOI
СостояниеОпубликовано - 12 янв 2021

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

Цитировать