Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона

Николай Геннадьевич Коробейщиков; Максим Анатольевич Роенко; Иван Владимирович Николаев

Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона

Николай Геннадьевич Коробейщиков, Максим Анатольевич Роенко, Иван Владимирович Николаев

Отдел прикладной физики ФФ

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › рецензирование

Аннотация

Проведено экспериментальное исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхности различных материалов: нержавеющая сталь, плавленый кварц. Получены зависимости основных параметров амплитудной (среднеквадратичная шероховатость R a) и латеральной (функция спектральной плотности шероховатости, PSD) шероховатости от дозы облучения и среднего размера кластеров. Показана возможность получения сверхгладких поверхностей с субнанометровой шероховатостью.

Язык оригинала	русский
Название основной публикации	Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2017. 5 – 9 июня 2017 г. Казань. Сборник тезисов
Место публикации	Казань
Издатель	Издательство "Отечество"
Страницы	250
Число страниц	1
ISBN (печатное издание)	978-5-9222-1167-3
Состояние	Опубликовано - 2017

Предметные области OECD FOS+WOS

1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ГРНТИ

29.27 Физика плазмы

Доступ к документу

https://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117388

Другие файлы и ссылки

https://elibrary.ru/item.asp?id=35008445

Цитировать

Коробейщиков, Н. Г., Роенко, М. А., & Николаев, И. В. (2017). Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона. В Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2017. 5 – 9 июня 2017 г. Казань. Сборник тезисов (стр. 250). Издательство "Отечество". https://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117388

Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Роенко, Максим Анатольевич ; Николаев, Иван Владимирович. / Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона. Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2017. 5 – 9 июня 2017 г. Казань. Сборник тезисов. Казань : Издательство "Отечество", 2017. стр. 250

@inproceedings{90c62188721c45628e5e48d9d651f354,

title = "Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона",

abstract = "Проведено экспериментальное исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхности различных материалов: нержавеющая сталь, плавленый кварц. Получены зависимости основных параметров амплитудной (среднеквадратичная шероховатость R a) и латеральной (функция спектральной плотности шероховатости, PSD) шероховатости от дозы облучения и среднего размера кластеров. Показана возможность получения сверхгладких поверхностей с субнанометровой шероховатостью.",

author = "Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Роенко, {Максим Анатольевич} and Николаев, {Иван Владимирович}",

note = "Коробейщиков Н.Г., Роенко М.А., Николаев И.В. Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона // Физика низкотемпературной плазмы - ФНТП-2017 : Сборник тезисов Всероссийской (с международным участием) конференции, Казань, 05–09 июня 2017 года. – Казань: {"}Отечество{"}, 2017. – С. 250.",

year = "2017",

language = "русский",

isbn = "978-5-9222-1167-3",

pages = "250",

booktitle = "Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2017. 5 – 9 июня 2017 г. Казань. Сборник тезисов",

publisher = "Издательство {"}Отечество{"}",

}

Коробейщиков, НГ , Роенко, МА & Николаев, ИВ 2017, Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона. в Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2017. 5 – 9 июня 2017 г. Казань. Сборник тезисов. Издательство "Отечество", Казань, стр. 250. <https://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117388>

Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона. / Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Роенко, Максим Анатольевич ; Николаев, Иван Владимирович.

Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2017. 5 – 9 июня 2017 г. Казань. Сборник тезисов. Казань : Издательство "Отечество", 2017. стр. 250.

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › рецензирование

TY - GEN

T1 - Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Роенко, Максим Анатольевич

AU - Николаев, Иван Владимирович

N1 - Коробейщиков Н.Г., Роенко М.А., Николаев И.В. Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона // Физика низкотемпературной плазмы - ФНТП-2017 : Сборник тезисов Всероссийской (с международным участием) конференции, Казань, 05–09 июня 2017 года. – Казань: "Отечество", 2017. – С. 250.

PY - 2017

Y1 - 2017

N2 - Проведено экспериментальное исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхности различных материалов: нержавеющая сталь, плавленый кварц. Получены зависимости основных параметров амплитудной (среднеквадратичная шероховатость R a) и латеральной (функция спектральной плотности шероховатости, PSD) шероховатости от дозы облучения и среднего размера кластеров. Показана возможность получения сверхгладких поверхностей с субнанометровой шероховатостью.

AB - Проведено экспериментальное исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхности различных материалов: нержавеющая сталь, плавленый кварц. Получены зависимости основных параметров амплитудной (среднеквадратичная шероховатость R a) и латеральной (функция спектральной плотности шероховатости, PSD) шероховатости от дозы облучения и среднего размера кластеров. Показана возможность получения сверхгладких поверхностей с субнанометровой шероховатостью.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=35008445

M3 - статья в сборнике материалов конференции

SN - 978-5-9222-1167-3

SP - 250

BT - Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2017. 5 – 9 июня 2017 г. Казань. Сборник тезисов

PB - Издательство "Отечество"

CY - Казань

ER -

Коробейщиков НГ , Роенко МА , Николаев ИВ. Сверхгладкая полировка поверхности материалов с помощью ускоренного ионно-кластерного пучка аргона. В Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2017. 5 – 9 июня 2017 г. Казань. Сборник тезисов. Казань: Издательство "Отечество". 2017. стр. 250