Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии

А.Н. Генцелев, Сергей Александрович Кузнецов, Федор Николаевич Дульцев, Борис Григорьевич Гольденберг, А.Г. Зелинский, В.И. Кондратьев, Дарья Сергеевна Таныгина

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатья

Аннотация

Описывается методика создания квазиоптических фильтров высоких частот терагерцового диапазона на базе толстых (толщиной до 1 мм) самонесущих медных микроструктур субволновой топологии. Методика основана на рентгенолитографическом формировании высокоаспектной резистивной маски из рентгенорезиста SU-8 на кремниевой подложке с использованием вольфрамового рентгеношаблона и последующим гальваническим выращиванием медного слоя через резистивную маску. Рассмотрен пример структуры толщиной 212 мкм с частотой отсечки 0,42 ТГц, имеющей топологию гексагонально упакованных отверстий шестиугольной формы. Представлены результаты широкополосной ТГц-характеризации полученной структуры и её электродинамического анализа.
Переведенное названиеImplementation of terahertz high-pass filters based on all-metal microsrtuctures using deep x-ray lithography
Язык оригиналарусский
Номер статьи2
Страницы (с-по)14-27
Число страниц14
ЖурналАвтометрия
Том55
Номер выпуска2
DOI
СостояниеОпубликовано - 2019

Ключевые слова

  • глубокая рентгеновская литография
  • LIGA-технология
  • микроструктуры
  • квазиоптические фильтры
  • терагерцовый диапазон

ГРНТИ

  • 29 ФИЗИКА

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать