Аннотация
Программа предназначена для моделирования слоистых отражающих структур, расчёта изменения поляризации и восстановления параметров структур по экспериментальным данным метода эллипсометрии. Вычисление спектров отражения проводится матричным методом для двух компонент поляризации волны, данные представляются в виде спектров эллипсометрических углов Ψ и Δ. Отражающая структура может содержать произвольное число слоёв, данные об оптических константах которых загружаются из баз данных в текстовом формате. Неизвестные параметры слоёв восстанавливаются численным решением обратной задачи эллипсометрии. Программа выполнена с применением оборудования ЦКП "ВТАН" НГУ, поддержана грантом МНВО РФ №075-15-2021-697. OC: Windows 10.
| Язык оригинала | русский |
|---|---|
| Номер патента | 2022685005 |
| Дата приоритета | 13.12.2022 |
| Состояние | Опубликовано - 20 дек. 2022 |
Ключевые слова
- ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ
- ОПТИЧЕСКИЕ КОНСТАНТЫ
- ЭЛЕКТРОМАГНИТНАЯ ВОЛНА
- ДИСПЕРСИЯ
- ПОГЛОЩЕНИЕ
- ОТРАЖЕНИЕ
- СВЕТ
- ПОЛЯРИЗАЦИЯ
- ПРЕЛОМЛЕНИЕ
- СЛОИСТАЯ СТРУКТУРА
ГРНТИ
- 20.53.19 Средства обработки и поиска информации
- 29.31.21 Оптика твердых тел
- 29.03.31 Оптические методы измерения в физическом эксперименте
- 29.03.45 Обработка данных физического эксперимента