Программа для моделирования спектров пропускания и отражения слоистых структур на толстой подложке с учётом интерференции в слоях

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрациисвидетельство о регистрации программ для ЭВМ

Аннотация

Программа предназначена для определения толщины слоя и дисперсии его комплексного показателя преломления из аппроксимации рассчитанных данных к экспериментальным данным пропускания и отражения света. Программа позволяет работать со слоистой структурой, содержащей до десяти слоёв, при этом должны быть известны толщины и оптические константы всех слоёв, за исключением одного, параметры которого нужно определить. Интерференция учитывается в слоях, но не учитывается в толстой подложке. Программа может быть использована для определения края поглощения плёнок. Разработка выполнена на базе оборудования ЦКП "ВТАН" НГУ.
Язык оригиналарусский
Номер патента2022668094
Дата приоритета28.09.2022
СостояниеОпубликовано - 4 окт. 2022

Ключевые слова

  • ПЛЁНКИ
  • ИНТЕРФЕРЕНЦИЯ
  • ПРОПУСКАНИЕ
  • ОТРАЖЕНИЕ

ГРНТИ

  • 29.31.21 Оптика твердых тел

Цитировать