Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Язык оригиналарусский
Название основной публикацииДоклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.
РедакторыВ. Я. Рудяк
Место публикацииНовосибирск
Страницы174-176
Число страниц3
Том2
СостояниеОпубликовано - июн 2015

Цитировать