Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел: «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).

Алексей Александрович Шмаков; Николай Геннадьевич Коробейщиков; Валерий Владимирович Каляда; Олег Игоревич Пеньков; Александр Евгеньевич Зарвин

Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел: «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).

Алексей Александрович Шмаков, Николай Геннадьевич Коробейщиков, Валерий Владимирович Каляда, Олег Игоревич Пеньков, Александр Евгеньевич Зарвин

Результат исследования: Материалы конференций › материалы › рецензирование

Язык оригинала	русский
Страницы	174-176
Число страниц	3
Состояние	Опубликовано - 2015

Цитировать

Шмаков, А. А., Коробейщиков, Н. Г., Каляда, В. В., Пеньков, О. И., & Зарвин, А. Е. (2015). Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел: «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).. 174-176.

Шмаков, Алексей Александрович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Каляда, Валерий Владимирович и др. / Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел : «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2). 3 стр.

@conference{f23edee26e0b4e80b044b5b27df2f96e,

title = "Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел: «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).",

author = "Шмаков, {Алексей Александрович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Каляда, {Валерий Владимирович} and Пеньков, {Олег Игоревич} and Зарвин, {Александр Евгеньевич}",

year = "2015",

language = "русский",

pages = "174--176",

}

Шмаков, АА, Коробейщиков, НГ , Каляда, ВВ , Пеньков, ОИ & Зарвин, АЕ 2015, 'Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел: «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).', стр. 174-176.

Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел : «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2). / Шмаков, Алексей Александрович; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Каляда, Валерий Владимирович и др.

2015. 174-176.

Результат исследования: Материалы конференций › материалы › рецензирование

TY - CONF

T1 - Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел

T2 - «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).

AU - Шмаков, Алексей Александрович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Каляда, Валерий Владимирович

AU - Пеньков, Олег Игоревич

AU - Зарвин, Александр Евгеньевич

PY - 2015

Y1 - 2015

M3 - материалы

SP - 174

EP - 176

ER -

Шмаков АА, Коробейщиков НГ , Каляда ВВ , Пеньков ОИ , Зарвин АЕ. Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел: «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г. В 2-х т. Под редакцией В.Я. Рудяка. Новосибирск, НГАСУ (Сибстрин). 2015, Вып. 5. Том 2. С. 174-176.. ISBN 978-5-7795-0734-9 (т. 2).. 2015.