Precise Measurement of the Optical Characteristics of the Subsurface Layer of Solids

Переведенное название: Прецизионное измерение оптических характеристик приповерхностного слоя твердых тел

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Аннотация

Предложен метод измерения и алгоритм расчета показателя преломления оптических материалов, основанный на модели трехслойной структуры. Проведена экспериментальная апробация метода с использованием оптических мер. Численно показана единственность восстановления показателей преломления подложки, приповерхностного слоя, а также толщины слоя по измерению коэффициента отражения зондирующего излучения в области угла Брюстера и угла нормального падения. Впервые измерены показатель преломления приповерхностного слоя с абсолютной погрешностью измерения ±10 и толщина приповерхностного слоя с доверительной погрешностью ±1 нм.
Переведенное названиеПрецизионное измерение оптических характеристик приповерхностного слоя твердых тел
Язык оригиналаанглийский
Номер статьи3
Страницы (с-по)256-262
Число страниц7
ЖурналJETP Letters
Том114
Номер выпуска5
DOI
СостояниеОпубликовано - сен 2021

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Прецизионное измерение оптических характеристик приповерхностного слоя твердых тел». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать