Особенности формирования субмикронных частиц Ge и Si методом обратной литографии

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Язык оригиналарусский
Название основной публикацииОсобенности формирования субмикронных частиц Ge и Si методом обратной литографии
Место публикацииНижний Новгород
ИздательИздательство Нижегородского госуниверситета
Страницы885-886
Число страниц2
Том2
СостояниеОпубликовано - 2021

Цитировать