Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

Иван Владимирович Николаев; Николай Геннадьевич Коробейщиков; Павел Викторович Гейдт; Владимир Иванович Струнин

doi:10.31453/kdu.ru.91304.0147

Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

Иван Владимирович Николаев, Николай Геннадьевич Коробейщиков, Павел Викторович Гейдт, Владимир Иванович Струнин

Результат исследования: Материалы конференций › тезисы › рецензирование

Язык оригинала	русский
Страницы	31
Число страниц	1
DOI	https://doi.org/10.31453/kdu.ru.91304.0147
Состояние	Опубликовано - 25 мая 2021
Событие	50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами - МГУ им М.В. Ломоносова, Москва, Российская Федерация Продолжительность: 25 мая 2021 → 27 мая 2021 Номер конференции: 50 http://tulinov.sinp.msu.ru/

Конференция

Конференция	50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
Сокращенный заголовок	ФВЗЧК-2021
Страна/Tерритория	Российская Федерация
Город	Москва
Период	25.05.2021 → 27.05.2021
Адрес в сети Интернет	http://tulinov.sinp.msu.ru/

Предметные области OECD FOS+WOS

1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

Доступ к документу

10.31453/kdu.ru.91304.0147

http://tulinov.sinp.msu.ru/wp-content/uploads/2021/12/MTK50.pdf

Цитировать

Николаев, И. В., Коробейщиков, Н. Г., Гейдт, П. В., & Струнин, В. И. (2021). Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si. 31. Выдержка из 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Российская Федерация. https://doi.org/10.31453/kdu.ru.91304.0147

Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Гейдт, Павел Викторович и др. / Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si. Выдержка из 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Российская Федерация.1 стр.

@conference{1b0c82d40785403ca6630b4f5f5a9f46,

title = "Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si",

author = "Николаев, {Иван Владимирович} and Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Гейдт, {Павел Викторович} and Струнин, {Владимир Иванович}",

note = "Николаев И.В., Коробейщиков Н.Г., Гейдт П.В., Струнин В.И. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si // Тезисы докладов 50-й Международной Тулиновской конференции {"}Физика взаимодействия заряженных частиц с кристаллами{"}, Москва, 25–27 мая 2021. - С. 31.; 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, ФВЗЧК-2021 ; Conference date: 25-05-2021 Through 27-05-2021",

year = "2021",

month = may,

day = "25",

doi = "10.31453/kdu.ru.91304.0147",

language = "русский",

pages = "31",

url = "http://tulinov.sinp.msu.ru/",

}

Николаев, ИВ , Коробейщиков, НГ , Гейдт, ПВ & Струнин, ВИ 2021, 'Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si', 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Российская Федерация, 25.05.2021 - 27.05.2021 стр. 31. https://doi.org/10.31453/kdu.ru.91304.0147

Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si. / Николаев, Иван Владимирович ; Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Гейдт, Павел Викторович и др.

2021. 31 Выдержка из 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Российская Федерация.

Результат исследования: Материалы конференций › тезисы › рецензирование

TY - CONF

T1 - Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Гейдт, Павел Викторович

AU - Струнин, Владимир Иванович

N1 - Conference code: 50

PY - 2021/5/25

Y1 - 2021/5/25

U2 - 10.31453/kdu.ru.91304.0147

DO - 10.31453/kdu.ru.91304.0147

M3 - тезисы

SP - 31

T2 - 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами

Y2 - 25 May 2021 through 27 May 2021

ER -

Николаев ИВ , Коробейщиков НГ , Гейдт ПВ, Струнин ВИ. Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si. 2021. Выдержка из 50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, Российская Федерация. https://doi.org/10.31453/kdu.ru.91304.0147