Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si: Тезисы докладов 50-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами / Под ред. проф. Н.Г. Чеченина

Результат исследования: Материалы конференцийтезисырецензирование

Язык оригиналарусский
Страницы31
Число страниц1
DOI
СостояниеОпубликовано - 25 мая 2021

Цитировать