Microsrtucture of iridium enriched Pt xIr(1–x) film prepared by chemical vapor deposition

Переведенное название: Особенности микроструктуры иридийобогащенных пленок PtxIr(1-x), полученных методом химического осаждения из газовой фазы

S. I. Dorovskikh, E. S. Vikulova, I. V. Korolkov, E. A. Maksimovskiy, D. B. Kal’nyi, N. B. Morozova

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Аннотация

Разработаны процессы MOCVD осаждения пленок Pt x Ir(1- x ) с x < 0.3, толщиной 1.5-1.8 мкм в атмосфере кислорода на контакты диагностических электродов и титановые диски с использованием комбинации ацетилацетонатных (acac) производных Pt(II) и Ir(I) (Pt(acac)2, Ir(cod)(acac), где cod = циклооктадиен-1,5. Показано, что соотношение металлов в пленках, полученных на разных типах носителей в одном эксперименте, близко. Пленки содержат фазы твердых растворов Pt x Ir(1- x ) без примесей металлических и оксидных фаз, а соотношение металлов в объеме образцов соответствует экспериментально заданному. Согласно ЭДС и РФЭС, при формировании в приповерхностных слоях (10 нм) пленок фаз Pt x Ir(1- x ) содержание иридия понижено по сравнению с данными РФА. Поверхность пленок Pt x Ir(1- x ) состоит из агломератов, образованных мелкими частицами, средние размеры которых уменьшаются от 29 нм до 24-25 нм с понижением содержания Pt в интервале x = 0.3-0.2, и далее практически не меняются. Величины емкости образцов контактов с пленками Pt x Ir(1- x ) лежат в интервале 62.6-84.5 мКл/см2.
Переведенное названиеОсобенности микроструктуры иридийобогащенных пленок PtxIr(1-x), полученных методом химического осаждения из газовой фазы
Язык оригиналаанглийский
Номер статьи14
Страницы (с-по)1447-1456
Число страниц10
ЖурналJournal of Structural Chemistry
Том62
Номер выпуска9
DOI
СостояниеОпубликовано - сен 2021

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 2.05 ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
  • 1.04 ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ

ГРНТИ

  • 31.17 Неорганическая химия. Комплексные соединения

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Особенности микроструктуры иридийобогащенных пленок PtxIr(1-x), полученных методом химического осаждения из газовой фазы». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать