Overview of Integrated Optical Sensors Based on Silicon: Forecasts and Results of the Decade

Переведенное название: Обзор интегрально-оптических сенсоров на кремнии - прогнозы и итоги десятилетия [приглашённая статья]

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

1 Цитирования (Scopus)

Аннотация

Кремниевая фотоника является важнейшей технологической платформой для создания множества функциональных оптических элементов, включая перспективные типы оптических сенсоров. Причём в последние годы 20 % всех публикаций по кремниевой фотонике посвящено именно разработке различных вариантов оптических сенсоров. Их достоинство заключается в совмещении высоких технических параметров с возможностью массового изготовления по КМОП-технологии микроэлектроники и нанофотоники. Даётся краткое описание различных технологических решений последнего десятилетия, обеспечивающих поступательный прогресс в развитии характеристик оптических сенсоров. Отдельное внимание уделено новым перспективным конструкциям сенсоров на основе бимодовой (bimodal) технологии, обещающей значительное увеличение сенсорной чувствительности за счёт выравнивания групповой задержки пары разных оптических мод, распространяющихся по волноводной структуре. Обзор будет полезен для отечественных и зарубежных исследователей, работающих по сенсорной тематике.
Переведенное названиеОбзор интегрально-оптических сенсоров на кремнии - прогнозы и итоги десятилетия [приглашённая статья]
Язык оригиналаанглийский
Номер статьи13
Страницы (с-по)412-430
Число страниц19
ЖурналOptoelectronics, Instrumentation and Data Processing
Том56
Номер выпуска4
DOI
СостояниеОпубликовано - июл 2020

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ГРНТИ

  • 29.31 Оптика

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Обзор интегрально-оптических сенсоров на кремнии - прогнозы и итоги десятилетия [приглашённая статья]». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать