TY - JOUR
T1 - Обзор интегрально-оптических сенсоров на кремнии - прогнозы и итоги десятилетия [Приглашённая статья]
AU - Царев, Андрей Владимирович
N1 - Царев А.В. Обзор интегрально-оптических сенсоров на кремнии - прогнозы и итоги десятилетия [Приглашённая статья] // Автометрия. - 2020. - Т. 56. - № 4. - С. 111-133
PY - 2020/8/31
Y1 - 2020/8/31
N2 - Кремниевая фотоника является важной технологической платформой для создания множества функциональных оптических элементов, включая перспективные типы оптических сенсоров. Причем, в последние годы 20% всех публикаций по кремниевой фотонике посвящено именно разработке различных вариантов оптических сенсоров. Их достоинство заключается в совмещении высоких технических параметров с возможностью массового изготовления по КМОП-технологии микроэлектроники и нанофотоники. Дается краткое описание различных технологических решений последнего десятилетия, обеспечивающих поступательный прогресс в развитии характеристик оптических сенсоров. Отдельное внимание уделено новым перспективным конструкциям сенсоров на основе бимодовой (bimodal) технологии, обещающей значительное увеличение сенсорной чувствительности за счет выравнивания групповой задержки пары разных оптических мод, распространяющихся по волноводной структуре. Обзор будет полезен для отечественных и зарубежных исследователей, работающих по сенсорной тематике.
AB - Кремниевая фотоника является важной технологической платформой для создания множества функциональных оптических элементов, включая перспективные типы оптических сенсоров. Причем, в последние годы 20% всех публикаций по кремниевой фотонике посвящено именно разработке различных вариантов оптических сенсоров. Их достоинство заключается в совмещении высоких технических параметров с возможностью массового изготовления по КМОП-технологии микроэлектроники и нанофотоники. Дается краткое описание различных технологических решений последнего десятилетия, обеспечивающих поступательный прогресс в развитии характеристик оптических сенсоров. Отдельное внимание уделено новым перспективным конструкциям сенсоров на основе бимодовой (bimodal) технологии, обещающей значительное увеличение сенсорной чувствительности за счет выравнивания групповой задержки пары разных оптических мод, распространяющихся по волноводной структуре. Обзор будет полезен для отечественных и зарубежных исследователей, работающих по сенсорной тематике.
UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=44052507
U2 - 10.15372/AUT20200413
DO - 10.15372/AUT20200413
M3 - обзорная статья
VL - 56
SP - 111
EP - 133
JO - Автометрия
JF - Автометрия
SN - 0320-7102
IS - 4
M1 - 13
ER -