Обзор интегрально-оптических сенсоров на кремнии - прогнозы и итоги десятилетия [Приглашённая статья]

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхобзорная статьярецензирование

Аннотация

Кремниевая фотоника является важной технологической платформой для создания множества функциональных оптических элементов, включая перспективные типы оптических сенсоров. Причем, в последние годы 20% всех публикаций по кремниевой фотонике посвящено именно разработке различных вариантов оптических сенсоров. Их достоинство заключается в совмещении высоких технических параметров с возможностью массового изготовления по КМОП-технологии микроэлектроники и нанофотоники. Дается краткое описание различных технологических решений последнего десятилетия, обеспечивающих поступательный прогресс в развитии характеристик оптических сенсоров. Отдельное внимание уделено новым перспективным конструкциям сенсоров на основе бимодовой (bimodal) технологии, обещающей значительное увеличение сенсорной чувствительности за счет выравнивания групповой задержки пары разных оптических мод, распространяющихся по волноводной структуре. Обзор будет полезен для отечественных и зарубежных исследователей, работающих по сенсорной тематике.
Язык оригиналарусский
Номер статьи13
Страницы (с-по)111-133
Число страниц23
ЖурналАвтометрия
Том56
Номер выпуска4
DOI
СостояниеОпубликовано - 31 авг 2020

Цитировать