Новый тип оптического сенсора в структуре кремний на изоляторе

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Аннотация

В данной работе представлены результаты численного моделирования модифицированной конструкции оптического сенсора на основе сегментированной периодической решетки оксинитрида кремния (SiON), расположенного над кремниевым волноводом (кремниевой проволоки) в структуре кремний на изоляторе (КНИ).
Язык оригиналарусский
Название основной публикацииФотоника 2021
Подзаголовок основной публикацииРоссийская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники (с участием иностранных ученых) Новосибирск, 04-08 октября 2021 г.
Место публикацииНовосибирск
ИздательИздательство "Наука". Сибирское отделение
Страницы63
Число страниц1
ISBN (печатное издание)978-5-6046428-9-4
DOI
СостояниеОпубликовано - 2021
СобытиеФотоника 2021: Российская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники (с участием иностранных ученых) - ИФП СО РАН, Новосибирск, Российская Федерация
Продолжительность: 4 ноя 20218 ноя 2021
https://www.isp.nsc.ru/photonics2021/

Конференция

КонференцияФотоника 2021
СтранаРоссийская Федерация
ГородНовосибирск
Период04.11.202108.11.2021
Адрес в сети Интернет

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ГРНТИ

  • 29.19 Физика твердых тел

Цитировать