Аннотация
В данной работе представлены результаты численного моделирования модифицированной конструкции оптического сенсора на основе сегментированной периодической решетки оксинитрида кремния (SiON), расположенного над кремниевым волноводом (кремниевой проволоки) в структуре кремний на изоляторе (КНИ).
| Язык оригинала | русский |
|---|---|
| Название основной публикации | Фотоника 2021 |
| Подзаголовок основной публикации | Российская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники (с участием иностранных ученых) Новосибирск, 04-08 октября 2021 г. |
| Место публикации | Новосибирск |
| Издатель | Издательство "Наука". Сибирское отделение |
| Страницы | 63 |
| Число страниц | 1 |
| ISBN (печатное издание) | 978-5-6046428-9-4 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 2021 |
| Событие | Фотоника 2021: Российская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники (с участием иностранных ученых) - ИФП СО РАН, Новосибирск, Российская Федерация Продолжительность: 4 ноя 2021 → 8 ноя 2021 https://www.isp.nsc.ru/photonics2021/ |
Конференция
| Конференция | Фотоника 2021 |
|---|---|
| Страна | Российская Федерация |
| Город | Новосибирск |
| Период | 04.11.2021 → 08.11.2021 |
| Адрес в сети Интернет |
Предметные области OECD FOS+WOS
- 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ
ГРНТИ
- 29.19 Физика твердых тел