Метод получения антиотражающих покрытий из массива частиц SiGe посредством их самоорганизации на подложках кремния

Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрациисвидетельство о регистрации ноу-хау

4 Загрузки (Pure)
Язык оригиналарусский
Номер патента50
Дата приоритета08.12.2021
СостояниеОпубликовано - 9 дек. 2021

Ключевые слова

  • КРЕМНИЙ
  • АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ
  • ЧАСТИЦЫ
  • НЕСМАЧИВАЕМОСТЬ
  • ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ
  • ГЕРМАНИЙ

ГРНТИ

  • 29.19.31 Полупроводники
  • 29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмер-ные структуры. Мезоскопические структуры
  • 29.31.27 Взаимодействие оптического излучения с веществом

Цитировать