@misc{28fcca092d2b4c28838162cc1796693a,
title = "Метод получения антиотражающих покрытий из массива частиц SiGe посредством их самоорганизации на подложках кремния",
keywords = "КРЕМНИЙ, АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ, ЧАСТИЦЫ, НЕСМАЧИВАЕМОСТЬ, ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ, ГЕРМАНИЙ",
author = "Шкляев, {Александр Андреевич} and Dmitry Utkin",
year = "2021",
month = dec,
day = "9",
language = "русский",
publisher = "Новосибирский государственный университет",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "50",
}