Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии

Результат исследования: Материалы конференцийтезисырецензирование

Язык оригиналарусский
Страницы79-81
Число страниц3
СостояниеОпубликовано - 2011
СобытиеФундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар - НГАСУ, Нговосибирск, Российская Федерация
Продолжительность: 25 мая 201127 мая 2011
Номер конференции: 3
http://ns.itam.nsc.ru/lib/ecatalog/?author2=%CC%EE%F2%FB%F0%E5%E2+%CF.%C0.

Семинар

СеминарФундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар
СтранаРоссийская Федерация
ГородНговосибирск
Период25.05.201127.05.2011
Адрес в сети Интернет

Цитировать