TY - JOUR
T1 - Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости
AU - Николаев, Иван Владимирович
AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич
AU - Роенко, Максим Анатольевич
N1 - Николаев И.В, Коробейщиков Н.Г., Роенко М.А. Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости // Вакуумная техника и технология. - 2018. - Т. 28. - № 1. - С. 71-75
PY - 2018
Y1 - 2018
N2 - Проведено исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхностей оптического стекла и нержавеющей стали. Изучены зависимости спектральной плотности мощности шероховатости от пространственной частоты и среднеквадратичной шероховатости от дозы облучения. Среднеквадратичная шероховатость нержавеющей стали уменьшается в 5,5 раза, а оптического стекла – в 4,5 раза. Показана возможность получения материалов с субнанометровой шероховатостью поверхности. Дальнейшее понижение шероховатости нержавеющей стали ограничивается микрогранульной анизотропной структурой обрабатываемого материала.
AB - Проведено исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхностей оптического стекла и нержавеющей стали. Изучены зависимости спектральной плотности мощности шероховатости от пространственной частоты и среднеквадратичной шероховатости от дозы облучения. Среднеквадратичная шероховатость нержавеющей стали уменьшается в 5,5 раза, а оптического стекла – в 4,5 раза. Показана возможность получения материалов с субнанометровой шероховатостью поверхности. Дальнейшее понижение шероховатости нержавеющей стали ограничивается микрогранульной анизотропной структурой обрабатываемого материала.
M3 - статья
VL - 28
SP - 71
EP - 75
JO - Вакуумная техника и технология
JF - Вакуумная техника и технология
SN - 0869-1738
IS - 1
M1 - 7
ER -