Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Аннотация

Проведено исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхностей оптического стекла и нержавеющей стали. Изучены зависимости спектральной плотности мощности шероховатости от пространственной частоты и среднеквадратичной шероховатости от дозы облучения. Среднеквадратичная шероховатость нержавеющей стали уменьшается в 5,5 раза, а оптического стекла – в 4,5 раза. Показана возможность получения материалов с субнанометровой шероховатостью поверхности. Дальнейшее понижение шероховатости нержавеющей стали ограничивается микрогранульной анизотропной структурой обрабатываемого материала.
Язык оригиналарусский
Номер статьи7
Страницы (с-по)71-75
Число страниц5
ЖурналВакуумная техника и технология
Том28
Номер выпуска1
СостояниеОпубликовано - 2018

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

Цитировать