Инварианты коэффициента отражения

Леонид Анатольевич Федюхин, Александр Всеволодович Горчаков, Е.А. Колосовский

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Аннотация

Детально проанализирован коэффициент отражения плоской монохроматической волны, линейно поляризованной в плоскости падения, от трехслойной структуры. Решена обратная задача эллипсометрии для трехслойной структуры. Показано существование двух инвариантов коэффициента отражения для плоскопараллельной пластины. Предложен набор трех измеряемых параметров, не используемых ранее, позволяющий восстановить материальные параметры слоя. Получены аналитические выражения как для коэффициента отражения и углов падения для ряда важных частных случаев, так и для прямого расчета диэлектрической проницаемости и толщины слоя по измеренным значениям наблюдаемых параметров.
Язык оригиналарусский
Номер статьи20
Страницы (с-по)266-271
Число страниц6
ЖурналОптика и спектроскопия
Том128
Номер выпуска2
DOI
СостояниеОпубликовано - 2020

ГРНТИ

  • 29 ФИЗИКА

Цитировать