Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач

Алексей Евгеньевич Иешкин, Александр Борисович Толстогузов, Николай Геннадьевич Коробейщиков, В.О. Пеленович, В.С. Черныш

Результат исследования: Научные публикации в периодических изданияхстатьярецензирование

Аннотация

Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.
Язык оригиналарусский
Номер статьи2
Страницы (с-по)722-753
Число страниц31
ЖурналУспехи физических наук
Том192
Номер выпуска7
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 июл 2022

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

Цитировать