Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия

Результат исследования: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференцийстатья в сборнике материалов конференциинаучнаярецензирование

Аннотация

In this paper, the surface modification of aluminium nitride thin films at various parameters of argon cluster ions. It demonstrated that the cluster ions with both high and low energies per atom have a high efficiency of surface smoothing. A comparison of the surface roughness parameters obtained by atomic force microscopy is presented.
Переведенное названиеInfluence of treatment with argon cluster ions on the surface morphology of aluminum nitride
Язык оригиналарусский
Название основной публикацииXXV Международная конференция Взаимодействие ионов с поверхностью «ВИП-2021»
Подзаголовок основной публикацииТруды XXV международной конференции. Посвящается 100-летию со дня рождения А.Д. Сахарова
Место публикацииМосква
ИздательNational Research Nuclear University "MEPhI"
Страницы68-70
Число страниц3
СостояниеОпубликовано - 23 авг. 2021
СобытиеXXV Международная конференция «Взаимодействие ионов с поверхностью»
- г. Ярославль, Ярославль, Российская Федерация
Продолжительность: 23 авг. 202127 авг. 2021
Номер конференции: XXV
http://isi2021.uniyar.ac.ru/rus/first_rus.html

Конференция

КонференцияXXV Международная конференция «Взаимодействие ионов с поверхностью»
Сокращенный заголовокВИП-2021
Страна/TерриторияРоссийская Федерация
ГородЯрославль
Период23.08.202127.08.2021
Адрес в сети Интернет

Предметные области OECD FOS+WOS

  • 1.03 ФИЗИЧЕСКИЕ НАУКИ И АСТРОНОМИЯ

ГРНТИ

  • 29 ФИЗИКА

Fingerprint

Подробные сведения о темах исследования «Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать