Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия: Взаимодействие ионов с поверхностью. ВИП-2021. Т.1: Труды XXV международной конференции

Результат исследования: Материалы конференцийматериалырецензирование

Язык оригиналарусский
Страницы68-70
Число страниц3
СостояниеОпубликовано - 23 авг 2021

Цитировать