@conference{6e997c7fcd6c44d3af2e11daafde848d,
title = "Вакуумная наука и техника: 27-я научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов",
author = "Зарвин, {Александр Евгеньевич} and Дубровин, {Кирилл Алексеевич} and Каляда, {Валерий Владимирович} and Яскин, {Александр Сергеевич}",
year = "2020",
month = sep,
day = "14",
language = "русский",
note = "Вакуумная наука и техника : 27-я научно-техническая конференция с участием зарубежных специалистов ; Conference date: 14-09-2020 Through 19-09-2020",
}