Фото Александр Харитонович Антоненко
20142018

Результат исследований по году

Если Вы внесли какие-либо изменения в Pure, они скоро будут видимы здесь.

Личный профиль

научные интересы

В 1972 г. окончил ТУСУР (г. Томск), выполнив квалификационную работу на тему «Исследование электролюминесценции каменной соли в сверхсильных электрических полях». Получил диплом по специальности «Инженер электронной техники».
Трудится в отделе АТИЦ с 2014 года в должности ведущего инженера в секторах Создания многослойных структур, Вакуумного напыления и Воздействия на объекты пучками частиц и плазменными потоками.
Обладает значительным опытом в области плазмохимического осаждения и травления диэлектрических и полупроводниковых структур. Эксперт в области вакуумных методов осаждения кремниевых наноструктур. Отвечает за поддержание технологической и аналитической части оборудования АТИЦ, расположенного в помещении Высшего колледжа информатики (ВКИ) НГУ.
Область научных интересов охватывает создание многослойных светоизлучающих, фотоприёмных и волноводных структур с высоким пространственным разрешением на основе кремния и А3В5 соединений.

Образование/академическая квалификация

специалист, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»

… → 1972

Ключевые слова

  • QC Physics
  • травление
  • etching
  • Si wafers
  • magnetron
  • sputtering

Fingerprint

Узнайте самые подробные результаты анализа активности Александр Харитонович Антоненко. Указанные в этом разделе метки относятся к работам этого человека. Вместе они формируют уникальную картину активности.
  • 12 Аналогичные профили

Сеть

Последние внешние коллаборации на уровне страны. Узнайте подробнее, нажав точки.
Ваше сообщение было отправлено.
Ваше сообщение не было отправлено из-за ошибки.
Если Вы внесли какие-либо изменения в Pure, они скоро будут видимы здесь.