Публикации за год
Публикации за год
Результат исследований по году
В 1972 г. окончил ТУСУР (г. Томск), выполнив квалификационную работу на тему «Исследование электролюминесценции каменной соли в сверхсильных электрических полях». Получил диплом по специальности «Инженер электронной техники».
Трудится в отделе АТИЦ с 2014 года в должности ведущего инженера в секторах Создания многослойных структур, Вакуумного напыления и Воздействия на объекты пучками частиц и плазменными потоками.
Обладает значительным опытом в области плазмохимического осаждения и травления диэлектрических и полупроводниковых структур. Эксперт в области вакуумных методов осаждения кремниевых наноструктур. Отвечает за поддержание технологической и аналитической части оборудования АТИЦ, расположенного в помещении Высшего колледжа информатики (ВКИ) НГУ.
Область научных интересов охватывает создание многослойных светоизлучающих, фотоприёмных и волноводных структур с высоким пространственным разрешением на основе кремния и А3В5 соединений.
специалист, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»
… → 1972
Результат исследования: Научные публикации в периодических изданиях › статья › рецензирование
Результат исследования: Научные публикации в периодических изданиях › статья по материалам конференции › рецензирование
Результат исследования: Патенты/Свидетельства о регистрации › патент на изобретение