Экспериментальное исследование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона

Николай Геннадьевич Коробейщиков, Валерий Владимирович Каляда, Алексей Александрович Шмаков, Г.И. Шульженко

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Abstract

С целью разработки лабораторного стенда для ионно-кластерной модификации материалов выполнены экспериментальные исследования формирования ускоренных газофазных пучков аргона. Получены ускоренные пучки кластеров аргона с энергией до 22 keV и интенсивностью до 6 · 1013 ions/(cm2· s) при среднем размере кластерных ионов до 1013 atoms/cluster. Методом задерживающего потенциала исследованы распределения ионов по размерам в ускоренном ионно-кластерном пучке при различных давлениях торможения. Показано, что массовый состав ионно-кластерного пучка зависит от условий формирования ионного пучка.
Original languageRussian
Pages (from-to)50-57
Number of pages8
JournalПисьма в Журнал технической физики
Volume40
Issue number1
Publication statusPublished - 2014

OECD FOS+WOS

  • 1.03 PHYSICAL SCIENCES AND ASTRONOMY

Cite this