Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

Original languageRussian
Title of host publicationМатериалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника»
EditorsД. В. Быков
Place of PublicationМосква
PublisherМИЭМ НИУ ВШЭ
Pages166-169
Number of pages4
ISBN (Print)978-5-94506-334-1
Publication statusPublished - 2012

Cite this