Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона

Николай Геннадьевич Коробейщиков; Иван Владимирович Николаев; Максим Анатольевич Роенко

doi:10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона

Translated title of the contribution: Finishing Surface Treatment of Potassium Titanyl Phosphate Single Crystals by Argon Cluster Ions

Николай Геннадьевич Коробейщиков, Иван Владимирович Николаев, Максим Анатольевич Роенко

Applied Physics Division

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Abstract

It is demonstrated that a argon cluster ion beam can be used for the finishing treatment of ultrasmooth surfaces (with initial root-mean-square roughness below 0.3 nm) of potassium titanyl phosphate single crystals. Analysis of the power spectral density function of surface roughness showed that cluster-ion irradiation leads to removal of residual chemical contaminations from the subsurface layer and produces additional smoothing of the crystal surface in a broad range of spatial frequencies (ν = 0.2–100 μm –1 )

Translated title of the contribution	Finishing Surface Treatment of Potassium Titanyl Phosphate Single Crystals by Argon Cluster Ions
Original language	Russian
Pages (from-to)	30-32
Number of pages	3
Journal	Письма в Журнал технической физики
Volume	45
Issue number	6
DOIs	https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646
Publication status	Published - 2019

State classification of scientific and technological information

29 PHYSICS

Access to Document

10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

Fingerprint Dive into the research topics of 'Finishing Surface Treatment of Potassium Titanyl Phosphate Single Crystals by Argon Cluster Ions'. Together they form a unique fingerprint.

Cite this

Коробейщиков, Н. Г., Николаев, И. В., & Роенко, М. А. (2019). Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона. Письма в Журнал технической физики, 45(6), 30-32. https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Николаев, Иван Владимирович ; Роенко, Максим Анатольевич. / Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона. In: Письма в Журнал технической физики. 2019 ; Vol. 45, No. 6. pp. 30-32.

@article{df5fd8ef97064dcc832b55c6c521b5ec,

title = "Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона",

abstract = "Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)",

author = "Коробейщиков, {Николай Геннадьевич} and Николаев, {Иван Владимирович} and Роенко, {Максим Анатольевич}",

note = "Коробейщиков Н.Г., Николаев И.В., Роенко М.А. Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона // Письма в Журнал технической физики. - 219. - Т. 45. - № 6. - С. 30-32",

year = "2019",

doi = "10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646",

language = "русский",

volume = "45",

pages = "30--32",

journal = "Письма в Журнал технической физики",

issn = "0320-0116",

publisher = "Общество с ограниченной ответственностью Международная академическая издательская компания {"}Наука/Интерпериодика{"}",

number = "6",

}

Коробейщиков, НГ , Николаев, ИВ & Роенко, МА 2019, 'Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона', Письма в Журнал технической физики, vol. 45, no. 6, pp. 30-32. https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона. / Коробейщиков, Николай Геннадьевич ; Николаев, Иван Владимирович; Роенко, Максим Анатольевич.

In: Письма в Журнал технической физики, Vol. 45, No. 6, 2019, p. 30-32.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

TY - JOUR

T1 - Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона

AU - Коробейщиков, Николай Геннадьевич

AU - Николаев, Иван Владимирович

AU - Роенко, Максим Анатольевич

N1 - Коробейщиков Н.Г., Николаев И.В., Роенко М.А. Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона // Письма в Журнал технической физики. - 219. - Т. 45. - № 6. - С. 30-32

PY - 2019

Y1 - 2019

N2 - Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)

AB - Продемонстрирована возможность использования пучка кластерных ионов аргона для финишной обработки сверхгладких поверхностей (начальная шероховатость менее 0.3 nm) монокристаллов титанил-фосфата калия. С использованием функции спектральной плотности мощности шероховатости поверхности показано, что воздействие кластерных ионов приводит к удалению остаточных химических загрязнений в приповерхностном слое и дополнительному сглаживанию поверхности в широком диапазоне пространственных частот шероховатости (ν = 0.2-100 μm-1)

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=37481366

U2 - 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

DO - 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646

M3 - статья

VL - 45

SP - 30

EP - 32

JO - Письма в Журнал технической физики

JF - Письма в Журнал технической физики

SN - 0320-0116

IS - 6

ER -

Коробейщиков НГ , Николаев ИВ, Роенко МА. Финишная обработка поверхности монокристаллов титанил-фосфата калия кластерными ионами аргона. Письма в Журнал технической физики. 2019;45(6):30-32. https://doi.org/10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646