Технология получения высокоупорядоченной ступенчатой поверхности Si (111) -7x7

Константин Николаевич Романюк (Author), Александр Андреевич Шкляев (Author)

Research output: PatentKnow-how

Original languageRussian
Patent number6
Priority date22.11.2011
Publication statusPublished - 25 Nov 2011

Cite this