Abstract
Предложен способ получения наноразмерного кристаллического кремния с использованием установки быстрого циклического сжатия. В качестве реагентов используется смесь моносилана с аргоном. Образовавшиеся продукты поступают через выпускной клапан в систему сбора продуктов, в реакторный объем подаётся следующая порция исходных реагентов, заканчивая тем самым цикл переработки. При многократном повторении цикла формируется непрерывный процесс переработки моносилана в наноразмерный кристаллический кремний.
| Original language | Russian |
|---|---|
| Patent number | 29 |
| Priority date | 30.10.2018 |
| Publication status | Published - 14 Nov 2018 |
OECD FOS+WOS
- 2.1.NS NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
State classification of scientific and technological information
- 61.31.47 Silicon and its compounds