Способ определения размеров газовых кластеров в сверхзвуковом газовом потоке

Translated title of the contribution: METHOD TO DETERMINE SIZES OF GAS CLUSTERS IN SUPERSONIC GAS FLOW

Николай Геннадьевич Коробейщиков (Author), Максим Анатольевич Роенко (Author)

Research output: Patent

Abstract

Использование: для обработки материалов и осаждения покрытий. Сущность изобретения заключается в том, что способ определения размеров газовых кластеров в сверхзвуковом газовом потоке включает истечение газа из звукового или сверхзвукового сопла, формирование кластерного пучка с помощью конусной диафрагмы (скиммера), в котором согласно изобретению измеряют поперечный профиль интенсивности пучка на фиксированном расстоянии за скиммером и по уширению мономерной и кластерной компонент пучка рассчитывают средний размер кластеров N по соотношению:
где Δmono - уширение мономерной компоненты пучка, Δclust - уширение кластерной компоненты пучка. Технический результат: обеспечение возможности определения размеров кластеров в потоках любых чистых газов и газовых смесях.
Translated title of the contributionMETHOD TO DETERMINE SIZES OF GAS CLUSTERS IN SUPERSONIC GAS FLOW
Original languageRussian
Patent number2633290
IPCH01J37/04
Priority date15.04.2016
Publication statusPublished - 11 Oct 2017

OECD FOS+WOS

  • 2.05 MATERIALS ENGINEERING

Cite this