Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

Иван Владимирович Николаев, Николай Геннадьевич Коробейщиков, Максим Анатольевич Роенко, Павел Викторович Гейдт, Владимир Иванович Струнин

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Abstract

Исследована модификация поверхности тонких поликристаллических пленок нитрида алюминия с помощью бомбардировки ионно-кластерным пучком. Обработка проводилась высоко- (105 eV/atom) и низкоэнергетическими (10 eV/atom) кластерными ионами аргона. С помощью метода атомно-силовой микроскопии с применением спектральной функции шероховатости продемонстрировано высокоэффективное сглаживание наноструктурированной поверхности в широком диапазоне пространственных частот (ν = 0.02 − 128 µm^−1) при ультрамалой глубине травления (< 100 nm).
Original languageRussian
Pages (from-to)44-47
Number of pages4
JournalПисьма в Журнал технической физики
Volume47
Issue number6
DOIs
Publication statusPublished - 12 Jan 2021

OECD FOS+WOS

  • 1.03 PHYSICAL SCIENCES AND ASTRONOMY

Cite this