Применение ионно-кластерной технологии для модификации поверхности твердых тел

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

Original languageRussian
Title of host publicationДоклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.
EditorsВ. Я. Рудяк
Place of PublicationНовосибирск
Pages174-176
Number of pages3
Volume2
Publication statusPublished - Jun 2015

Cite this