Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты

Александр Николаевич Кузнецов (Author), Nikita Chirikov (Author), Алена Леонидовна Богословцева (Author)

Research output: Patent › Know-how

Cite this

Кузнецов, Александр Николаевич (Author) ; Chirikov, Nikita (Author) ; Богословцева, Алена Леонидовна (Author). / Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты. Новосибирский государственный университет. Patent No.: 76. Dec 22, 2022.

@misc{b54ee1419cdb4fc39a35df28ec328c65,

title = "Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты",

author = "Кузнецов, {Александр Николаевич} and Nikita Chirikov and Богословцева, {Алена Леонидовна}",

year = "2022",

month = dec,

day = "22",

language = "русский",

publisher = "Новосибирский государственный университет",

address = "Российская Федерация",

type = "Patent",

note = "76",

}

Новосибирский государственный университет. Patent No.: 76. Dec 22, 2022.

Research output: Patent › Know-how

TY - PAT

T1 - Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты

AU - Кузнецов, Александр Николаевич

AU - Chirikov, Nikita

AU - Богословцева, Алена Леонидовна

PY - 2022/12/22

Y1 - 2022/12/22

M3 - свидетельство о регистрации ноу-хау

M1 - 76

PB - Новосибирский государственный университет

ER -