Особенности формирования субмикронных частиц Ge и Si методом обратной литографии

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

2 Downloads (Pure)
Original languageRussian
Title of host publicationОсобенности формирования субмикронных частиц Ge и Si методом обратной литографии
Place of PublicationНижний Новгород
PublisherИздательство Нижегородского госуниверситета
Pages885-886
Number of pages2
Volume2
Publication statusPublished - 2021

Cite this