Особенности применения газовых кластерно-ионных пучков для модификации поверхности: Материалы 53-й международной научной студенческой конференции МНСК-2015. Новосибирск, 11-18.04.2015. «Физические методы в естественных науках». Новосибирск, 2015. С. 76.

Алексей Александрович Шмаков

Research output: Contribution to conferencePaperpeer-review

Original languageRussian
Publication statusPublished - 2015

Cite this