Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si

Research output: Contribution to conferenceAbstractpeer-review

Original languageRussian
Pages31
Number of pages1
DOIs
Publication statusPublished - 25 May 2021
Event50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами - МГУ им М.В. Ломоносова, Москва, Russian Federation
Duration: 25 May 202127 May 2021
Conference number: 50
http://tulinov.sinp.msu.ru/

Conference

Conference50-я Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
Abbreviated titleФВЗЧК-2021
CountryRussian Federation
CityМосква
Period25.05.202127.05.2021
Internet address

OECD FOS+WOS

  • 1.03 PHYSICAL SCIENCES AND ASTRONOMY

Cite this