Особенности обработки кластерными ионами аргона поликристаллических пленок AlN на подложках из ситалла и Si: Тезисы докладов 50-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами / Под ред. проф. Н.Г. Чеченина

Research output: Contribution to conferenceAbstractpeer-review

Original languageRussian
Pages31
Number of pages1
DOIs
Publication statusPublished - 25 May 2021

Cite this