Обзор интегрально-оптических сенсоров на кремнии - прогнозы и итоги десятилетия [Приглашённая статья]

Research output: Contribution to journalReview articlepeer-review

Abstract

Кремниевая фотоника является важной технологической платформой для создания множества функциональных оптических элементов, включая перспективные типы оптических сенсоров. Причем, в последние годы 20% всех публикаций по кремниевой фотонике посвящено именно разработке различных вариантов оптических сенсоров. Их достоинство заключается в совмещении высоких технических параметров с возможностью массового изготовления по КМОП-технологии микроэлектроники и нанофотоники. Дается краткое описание различных технологических решений последнего десятилетия, обеспечивающих поступательный прогресс в развитии характеристик оптических сенсоров. Отдельное внимание уделено новым перспективным конструкциям сенсоров на основе бимодовой (bimodal) технологии, обещающей значительное увеличение сенсорной чувствительности за счет выравнивания групповой задержки пары разных оптических мод, распространяющихся по волноводной структуре. Обзор будет полезен для отечественных и зарубежных исследователей, работающих по сенсорной тематике.
Original languageRussian
Article number13
Pages (from-to)111-133
Number of pages23
JournalАвтометрия
Volume56
Issue number4
DOIs
Publication statusPublished - 31 Aug 2020

State classification of scientific and technological information

  • 29 PHYSICS

Cite this