Новый тип оптического сенсора в структуре кремний на изоляторе

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contributionResearchpeer-review

Abstract

В данной работе представлены результаты численного моделирования модифицированной конструкции оптического сенсора на основе сегментированной периодической решетки оксинитрида кремния (SiON), расположенного над кремниевым волноводом (кремниевой проволоки) в структуре кремний на изоляторе (КНИ).
Original languageRussian
Title of host publicationФотоника 2021
Subtitle of host publicationРоссийская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники (с участием иностранных ученых) Новосибирск, 04-08 октября 2021 г.
Place of PublicationНовосибирск
PublisherИздательство "Наука". Сибирское отделение
Pages63
Number of pages1
ISBN (Print)978-5-6046428-9-4
DOIs
Publication statusPublished - 2021
EventФотоника 2021: Российская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники (с участием иностранных ученых) - ИФП СО РАН, Новосибирск, Russian Federation
Duration: 4 Nov 20218 Nov 2021
https://www.isp.nsc.ru/photonics2021/

Conference

ConferenceФотоника 2021
Country/TerritoryRussian Federation
CityНовосибирск
Period04.11.202108.11.2021
Internet address

OECD FOS+WOS

  • 1.03 PHYSICAL SCIENCES AND ASTRONOMY

State classification of scientific and technological information

  • 29.19 Physics of solids

Cite this