Модифицированная установка для газодинамических исследований и технологических разработок

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Abstract

Описана модификация экспериментальной установки ЛЭМПУС-1, выполненная с целью расширения возможностей проведения исследований плазмохимических реакций и процессов формирования кластеров в газовых струях при импульсном режиме истечения, а также технологических процессов при кластерно-ионной обработке поверхности. Установка обеспечивает масс-спектрометрию молекулярных пучков, сформированных из сверхзвуковых струй газов и газовых смесей, изучение плазмохимических реакций, инициируемых в струях самостоятельным и несамостоятельным разрядом, изучение процессов формирования кластеров в смесях газов, моделирование процессов сверхзвукового истечения с большими расходами из звуковых и сверхзвуковых сопел. Установка высокопроизводительных безмасляных вакуумных насосов обеспечивает возможность изучения процессов в газовых струях в присутствии углеводородных примесей. Оснащение установки системами ионизации и ускорения потоков позволяет изучать процессы взаимодействия кластеров и ионов с твердой поверхностью при газоструйной обработке покрытий
Original languageRussian
Article number17
Pages (from-to)127-134
Number of pages8
JournalПриборы и техника эксперимента
Issue number2
DOIs
Publication statusPublished - 2016

OECD FOS+WOS

  • 1.03 PHYSICAL SCIENCES AND ASTRONOMY

State classification of scientific and technological information

  • 31 CHEMISTRY

Cite this