Кластерно-ионные пучки для нанотехнологии

Research output: Contribution to conferenceAbstractpeer-review

Original languageRussian
Pages79-81
Number of pages3
Publication statusPublished - 2011
EventФундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар - НГАСУ, Нговосибирск, Russian Federation
Duration: 25 May 201127 May 2011
Conference number: 3
http://ns.itam.nsc.ru/lib/ecatalog/?author2=%CC%EE%F2%FB%F0%E5%E2+%CF.%C0.

Seminar

SeminarФундаментальные основы МЭМС- и нанотехнологий. Вып. 3.: III Всероссийский семинар
CountryRussian Federation
CityНговосибирск
Period25.05.201127.05.2011
Internet address

Cite this