Ионно-кластерная полировка поверхности материалов до субнанометрового уровня шероховатости

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Abstract

Проведено исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхностей оптического стекла и нержавеющей стали. Изучены зависимости спектральной плотности мощности шероховатости от пространственной частоты и среднеквадратичной шероховатости от дозы облучения. Среднеквадратичная шероховатость нержавеющей стали уменьшается в 5,5 раза, а оптического стекла – в 4,5 раза. Показана возможность получения материалов с субнанометровой шероховатостью поверхности. Дальнейшее понижение шероховатости нержавеющей стали ограничивается микрогранульной анизотропной структурой обрабатываемого материала.
Original languageRussian
Article number7
Pages (from-to)71-75
Number of pages5
JournalВакуумная техника и технология
Volume28
Issue number1
Publication statusPublished - 2018

Cite this