Диагностика интенсивных газовых ионно-кластерных пучков для обработки материалов: Передовые материалы – 2016: синтез, обработка и свойства наноструктур: Материалы Российско-Японской междунар. конф. 30 окт. – 3 Ноя., 2016 / Новосиб. гос. ун-т – Новосибирск, 2016 – с. 102

Research output: Contribution to conferencePaperpeer-review

Original languageRussian
Pages102
Number of pages1
Publication statusPublished - 2016

Cite this